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MEMS微热板

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GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微热板,可用于微型气体传感器或其他加热型器件的研发。

我们的微热板采用MEMS工艺制作,为金属氧化物半导体气体传感器提供了一个可靠的平台,能耗低、加热响应快。微热板采用悬膜式结构,包含一层坚韧的二氧化硅膜,里层包覆S型铂作为加热丝为金属氧化物提供合适的工作温度。微热板的使用温度高达400℃,同时可根据铂的电阻温度系数计算核心区的温度。其热响应时间只有数毫秒。

GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微热板,可用于微型气体传感器或其他加热型器件的研发。


MEMS微热板说明书
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